반도체 제조 과정에서 펠리클은 필수다. 펠리클은 반도체 회로 패턴을 덮어 이물질이 묻지 않도록 하고 열 손상도 막는 부품이다. 반도체 웨이퍼의 수율을 일정 수준으로 유지하는 데 꼭 필요하다. 국내에서 보기 드문 소부장(소재·부품·장비) 스타트업인 어썸레이는 탄소나노튜브(CNT)라는 신소재로 펠리클 시장에 도전하는 기업이다. 김세훈 어썸레이 대표(사진)는 “최근 반도체 회로가 점점 좁아지면서 가공에 쓰이는 레이저의 온도가 높아졌다”며 “고온을 견디면서 먼지도 막는 신소재 펠리클 수요가 증가하고 있다”고 설명했다.
김 대표는 CNT가 차세대 펠리클 소재에 제격이라고 강조했다. CNT는 머리카락 굵기의 10만분의 1로 얇고 알루미늄보다 가볍다. 강도는 철강의 100배, 열 전도성은 구리의 10배에 달하는 뛰어난 소재다. 하지만 그동안 대규모 생산과 안정적인 제품화가 어려워 펠리클 소재 등으로 쓰이기 어려웠다. 김 대표는 “어썸레이는 독자적으로 개발한 공정으로 CNT를 실 형태로 안정적으로 생산할 수 있는 기술을 확보했다”고 말했다.
서울대 재료공학 박사 출신인 김 대표는 국내 CNT 소재 분야 전문가와 2018년 어썸레이를 창업했다. 기술력을 인정받아 인비저닝파트너스, GS벤처스, KB인베스트먼트, 산업은행, 서울대기술지주, 카카오벤처스, 은행권청년창업재단(디캠프) 등으로부터 270억원을 투자받았다.
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