탄소나노튜브(CNT) 소재 스타트업 어썸레이가 반도체 제조 핵심부품인 '펠리클'에 사용될 신소재 개발에 나섰다. 반도체 초미세 공정에 사용될 필수 소재로 미쓰이화학 등 소수 일본 기업들의 독과점 구조를 깬다는 목표다.
22일 관련업계에 따르면 어썸레이는 최근 국내 한 펠리클 부품 개발사와 함께 CNT소재를 활용한 'CNT 펠리클' 개발의 마무리 단계를 진행하고 있다. 어썸레이 관계자는 "성능 척도로 평가받는 투과율과 크기에서 목표치에 거의 도달했다"며 "연내 투과율 90% 이상, 풀사이즈 펠리클 개발을 완료하고, 2025년에는 인증 및 시제품 공급이 가능할 것"이라고 말했다
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